ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment
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ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment

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Brand 協同インターナショナル
CVDPVD修理/再生/OH
協同インターナショナル
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スパッタ(PVD)、CVD装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)およびヒーターの再生。Centura HDP、TXZ/WXZ/CXZ/DXZ、Producer(プロデューサー)、P5000(P-5000)、ENDURA5500等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にAMAT 6、8、12インチ(150、200、300mm）向け。P/N:0

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