FABSローツェロボット修理 Rorze Robot Repair

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CMP装置用FABSロボットの修理。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。エクスチェンジ機、フルオーバーホールの検討も可能。