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水平マスクピック Horizontal mask pick
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協同インターナショナル
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。 WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向け
に設計されており、WHS-L1が適さない場合に柔軟に対応します。 WHS-L3 は、高度な極端紫外線 (EUV) マスクを扱うために作られており、EUV レチクル ポッドとシームレスにインターフェースする 4つの薄型グリッパーを備え、安定性とセキュリティを確保します。 l ノーマリークローズの接線方向ハンドリング l 接地パスを備えた帯電防止構造 l 人間工学に基づいた左右どちらの手でも使用可能 l グリップ力調整可能 l 用途：搬送、検査、マスクアライナー、洗浄 l 卓上ホルダー付属 Horizontal Offset Mask Handling Mechanical Pick (WHS-L2) 5x5x0.090 Photomasks and Reticles Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L2-5090 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：5x5x0.090 Grip hold：Horizontal grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Horizontal Offset Mask Handling Mechanical Pick (WHS-L2) 6x6x0.120 Photomasks and Reticles Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L2-6120 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：6x6x0.120 Grip hold：Horizontal grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Horizontal Offset Mask Handling Mechanical Pick (WHS-L2) 6x6x0.250 Photomasks and Reticles Horizontal Offset Mask Handling Mechanical Pick (WHS-L2) 7x7x0.120 Photomasks and Reticles Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L2-7120 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：7x7x0.120 Grip hold：Horizontal grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Horizontal Offset Mask Handling Mechanical Pick (WHS-L2) 7x7x0.150 Photomasks and Reticles Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L2-7150 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：7x7x0.150 Grip hold：Horizontal grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Horizontal Offset Mask Handling Mechanical Pick (WHS-L2) 9x9x0.120 Photomasks and Reticles Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L2-9120 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：9x9x0.120 Grip hold：Horizontal grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) 【備考】※ご注文の際はウェハピックのモデル番号を指定してください。 ※写真は代表的なインチサイズの商品を載せていますので実物と異なる場合があります。 ※常備在庫品ではありません。納期は別途お問い合わせください。
