カテゴリ: 論文誌(論文単位)グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門発行日: 2021/02/01タイトル(英語): Preparation of Nd-Fe-B Thick-film Magnets Deposited on Si Substrates with Each Glass Buffer Layer and their Properties著者名: 中野 正基（長崎大学大学院工学研究科），桃崎 瑞貴（長崎大学大学院工学研究科），松岡 凌平（長崎大学大学院工学研究科），山下 昂洋（長崎大学大学院工学研究科），柳井 武志（長崎大学大学院工学研究科），福永 博俊（長崎大学大学院工学研究科）著者名(英語): Masaki Nakano (Graduate School of Engineering, Nagasaki University), Mizuki Momosaki (Graduate School of Engineering, Nagasaki University), Ryohei Matsuoka (Graduate School of Engineering, Nagasaki University), Akihiro Yamashita (Graduate School of Engineキーワード: PLD，Nd-Fe-B，バッファー層，磁気特性，Nd含有量，機械的破壊_x000D_ PLD，Nd-Fe-B，buffer-layer，magnetic properties，Nd content，mechanical destruction要約(英語): This contribution reports mechanical characteristic together with magnetic properties of PLD (Pulsed Laser Deposition)-fabricated isotropic Nd-Fe-B thick-films on Si substrates with each glass under layer. An enhancement in the thickness of a PLD-made glass buffer-layer enabled us to reduce the stress between a Si substrate and a film magnet. Moreover, the adoption of a glass buffer-layer was effective to enhance the values of residual magnetic polarization and (BH)max comparing those of a Nd-Fe-B film magnet with almost the same thickness on a Si substrate with a 500-nm thick thermal oxide layer.本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.141 No.2 （2021） 特集：ナノスケール磁性体の構造・組織解析と創製に関する動向と展望本誌掲載ページ: 128-132 p原稿種別: 論文／日本語電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/141/2/141_128/_article/-char/ja/
