カテゴリ: 論文誌(論文単位)グループ名: 【C】電子・情報・システム部門発行日: 2021/01/01タイトル(英語): Polishing Surface Measurements by Laser-speckle Methods with Ultraviolet Wavelengths著者名: 馬 昀?（Hangzhou Hikvision Digital Technology Co., Ltd.），王 景（東京都立大学大学院 システムデザイン研究科），渡部 泰明（東京都立大学大学院 システムデザイン研究科），佐藤 隆幸（東京都立大学大学院 システムデザイン研究科）著者名(英語): Yunhao Ma (Hangzhou Hikvision Digital Technology Co., Ltd.), Jing Wang (Tokyo Metropolitan University), Yasuaki Watanabe (Tokyo Metropolitan University), Takayuki Sato (Tokyo Metropolitan University)キーワード: 鏡面測定，Laser Speckle，UV光 polishing Surface Measurement，Laser Speckle，ultraviolet wavelengths要約(英語): A non mechanical scanning method is developed for mapping absolute vibrational patterns of a polishing surface piezoelectric device. In this paper, by improving the traditional Laser Speckle method, we first proved the method can measure the polished scattered light of the smooth surfaces. As a result, using 377nm of an ultraviolet laser device, the simulation of the polished surface was carried out to 45 from 10 degrees, and, moreover, the reflection coefficients found area of 35% or less by the measurements.本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.141 No.1 （2021） 特集：電子回路関連技術本誌掲載ページ: 59-60 p原稿種別: 研究開発レター／日本語電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/141/1/141_59/_article/-char/ja/
