カテゴリ: 論文誌(論文単位)グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門発行日: 2012/05/01タイトル(英語): Cantilever-type Thermal Microactuators Fabricated by SOI-MUMPs with U-type and I-type Configurations著者名: 長田 貴裕（千葉工業大学），落合 邦行（千葉工業大学），長田 和樹（ニッコーテクノ（株）），室 英夫（千葉工業大学）著者名(英語): Takahiro Osada (Chiba Institute of Technology), Kuniyuki Ochiai (Chiba Institute of Technology), Kazuki Osada (NIKKO THECNO, LTD.), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)キーワード: マイクロアクチュエータ，片持ち梁，熱式，SOI (Silicon on Insulator) Microactuators，Cantilever，Thermal，SOI要約(英語): Recently, the micro fluid systems have been extensively studied, where microactuators such as micro valves fabricated by MEMS technology are essential for realizing these systems. In this paper thermal microactuators with U-type and I-type shapes fabricated by SOI-MUMPs technology have been investigated for optimizing their configurations.本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.5 （2012）本誌掲載ページ: 103-107 p原稿種別: 論文／日本語電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/5/132_5_103/_article/-char/ja/
