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Dual-Loop Controller Design Considering Robust Vibration Suppression in Piezo-Driven Stages
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カテゴリ: 国際会議論文No: V-8グループ名: SAMCON2015発行日: 2016/11/25著者名(英語): Daisuke Noda Yuki Kamiya Kenta Seki Makoto Iwasaki (Nagoya Institute of Technology)原稿種別: 英語PDFファイルサイズ: 305 Kバイト
