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Compensating quasi-static disturbances for inferential control: an observer-based approach applied to a wafer stage

Name: Compensating quasi-static disturbances for inferential control: an observer-based approach applied to a wafer stage
Brand: 電気学会 電子図書館
SKU: ieej-samcon18v2-4
Price: 440 JPY
Availability: InStock

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カテゴリ: 国際会議論文No: V2-4グループ名: SAMCON2018発行日: 2018/05/10著者名(英語): Noud Mooren Nic Dirkx Robbert Voorhoeve Tom Oomen(Eindhoven University of Technology,ASML Research Mechatronics)原稿種別: 英