Model 200 マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用

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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。デスク/テーブルトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 200 基板 対応サイズ 8インチ角 まで マスク 対応サイズ 9インチ角 まで アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mmZ 動作 : 1500µm回転 : ± 3.5° アライメント 精度 - 露光 時間 0.1s～99.0s(0.1s間隔）もしくは 1s～999s(1s間隔） 露光 モード : 解像度 プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ)ソフトコンタクト: 2µmハードコンタクト: 1µmバキュームコンタクト : sub-µm スループット - 付帯設備 電源 : 110V もしくは 220V (仕様による) 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン サイズ 940mmH x 788mmW x 635mmD Show more