PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance

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チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。 詳しくはこちらから