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セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer
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協同インターナショナル
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ウェハ（25枚など）を別カセット（キャリア/キャリヤ）へ移動させるためのセーフガード用カバー・搬送機能付きのオートマチック（自動）式ウェハトランスファー（ウェハ移動ツール）。76mm（3インチ）、100mm（4インチ）、150mm（6インチ）、200mm（8インチ）用ウェハに対応した商品ラインアップ。 l 76 mm ～ 300 mm のウェハ用の精密ロボッ
ト制御 l 薄い、反りのある、高価なウェハを丁寧に処理 l コンパクトでメンテナンスの手間が少ない ISO 3 (クラス 1) 設計 l 設定を調整できるプログラム可能なタッチスクリーン l オプションの反転カセット転送機能 ★詳細の商品説明は本ページの最下段に記載しています。 SafeGuard wafer transfer (WHS-T1) 76 mm (3”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-T1-301 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene /PEEK | Stage: Anodized aluminum Wafer size：76 mm (3”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material rods：Antistatic carbon fiber Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) SafeGuard wafer transfer (WHS-T1) 100 mm (4”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-T1-401 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene /PEEK | Stage: Anodized aluminum Wafer size：100 mm (4”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material rods：Antistatic carbon fiber Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) SafeGuard wafer transfer (WHS-T1) 150 mm (6”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-T1-601 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene /PEEK | Stage: Anodized aluminum Wafer size：150 mm (6”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material rods：Antistatic carbon fiber Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) SafeGuard wafer transfer (WHS-T1) 200 mm (8”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-T1-801 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Guides: Antistatic Polyoxymethylene /PEEK | Stage: Anodized aluminum Wafer size：200 mm (8”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material rods：Antistatic carbon fiber Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) SafeGuard wafer transfer (WHS-T1) 300 mm (12") Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-T1-1201 Remarks：For FOSB and FOUP Material：Stage: Antistatic Polyurethane w/Aluminum base | Guides: Antistatic Polyoxymethylene /PEEK Wafer size：300 mm (12") System：Automatic system Slots：Up to 25 Material rods：Antistatic carbon fiber 【備考】※ご注文の際はカセットのモデル番号を指定してください。 ※写真は代表的なインチサイズの商品を載せていますので実物と異なる場合があります。 ※常備在庫品ではありません。納期は別途お問い合わせください。 【商品説明】 主にプローブ・テスト工程での用途で広く利用されています。エピタキシャル工程向けでは、WIP製造カセットまたは特殊EPIプロセスカセットへの移送を可能にします。熱処理ベークエリアではWIP製造カセットとメタルまたは石英カセット間でのウェハを移送。計測・検査エリアでは欠陥検査などの品質管理のための搬送にも用いられます。 元々のロットを“奇数”と“偶数”のロットに分割し、製造の品質や効率性を確保する運用、および、裏面処理用にウェハを180°反転して別カセットに移すといった運用も可能です。 WHS‑T1 SafeGuardシリーズは薄型ウェハ搬送に特化した先進的なバルク搬送システムです。反りや湾曲したウェハをエッジ部の摩耗や機械的インパクト無しで取り扱うことができ、歩留まり向上と欠陥低減を実現します。 コンパクトな設置面積でクリーンルームの制約下でも導入しやすく、高い精度と安全性を両立します。 対応ウェハサイズは76mm～200mmで、InP、GaAs、GaN、SiC、各種複合ウェハにも対応しています。電動式25セット搬送アームがカセットから優しくウェハを持ち上げるため、カセット内でのスライドや垂直移動時の位置ズレリスクを回避できます。 操作面ではSafe Guardのタッチスクリーンインターフェースとライトタワーがシステム状態と搬送進行をリアルタイムに通知して効率的な運用を支援します。ウェハ反転アプリケーション向けには標準および反転カセットローディングの双方をサポートする特注ステージも提供可能です。Hバーの上下配置が可能で、オペレーターが手動でカセットを反転して裏面処理に対応する運用にも適しています。 WHS‑T1はISO 3（FS209Eクラス1）クリーンルーム対応でSEMI準拠、ISO9001認証施設で製造されCE認証を取得しています。高精度半導体環境での信頼性の高いバルクウェハ搬送のソリューションを実現します。
