サイドマスクピック Side mask pick

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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。 WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向け に設計されており、WHS-L1が適さない場合に柔軟に対応します。 WHS-L3 は、高度な極端紫外線 (EUV) マスクを扱うために作られており、EUV レチクル ポッドとシームレスにインターフェースする 4つの薄型グリッパーを備え、安定性とセキュリティを確保します。 l 5～9インチ□フォトマスク用接線エッジサイドグリップ l クロムとの接触を防ぎ、汚染リスクを低減 l 搬送、検査、洗浄工程に最適 l 帯電防止、耐薬品性を備え、ISO 3クリーンルームで使用可能 l 台座ホルダー付属 Photomask Handling Tool (WHS-L1) 5x5x0.090 Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L1-5090 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：5x5x0.090 Grip hold：Side grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Photomask Handling Tool (WHS-L1) 6x6x0.120 Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L1-6120 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：6x6x0.120 Grip hold：Side grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Photomask Handling Tool (WHS-L1) 6x6x0.250 Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L1-6250 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：6x6x0.250 Grip hold：Side grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Photomask Handling Tool (WHS-L1) 7x7x0.120 Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L1-7120 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：7x7x0.120 Grip hold：Side grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Photomask Handling Tool (WHS-L1) 7x7x0.150 Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L1-7150 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：7x7x0.150 Grip hold：Side grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Photomask Handling Tool (WHS-L1) 9x9x0.120 Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L1-9120 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：9x9x0.120 Grip hold：Side grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Photomask Handling Tool (WHS-L1) 14x14x0.187 Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-L1-14187 Material：Antistatic Polyoxymethylene Mask Size：14x14x0.187 Grip hold：Side grip Holder：With holder Handling：Normally closed Material gripper insert：Viton elastomer Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) 【備考】※ご注文の際はウェハピックのモデル番号を指定してください。 ※写真は代表的なインチサイズの商品を載せていますので実物と異なる場合があります。 ※常備在庫品ではありません。納期は別途お問い合わせください。 Show more