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マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner
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協同インターナショナル
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手動（マニュアル操作）でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。オリフラウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。76mm（3インチ）、100mm（4インチ）、150mm（6インチ）用ウェハに対応した商品ラインアップ。 WHS-A2シリーズは76 mmから150 mmのウェーハに対応する手動フ
ラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiCなどの複合材料ウェハにも適合しており、主要プロセスでの正確な上下面バルクアライメントを保証します。また、人間工学に基づくスピンノブとレバーによりオペレーターの疲労を低減しつつ精密な制御を可能にし、スプリング式ステージがウェハの吸着とエッジ保護を行って歩留まりを向上させ破損リスクを下げます。静電気拡散性材料で作られており、ウェハとカセットの両方を接地してESDから繊細なデバイスを保護し、ISO 4（クラス10 FS209E）クリーンルーム環境での使用に適合する設計となっています。加えてSEMI準拠カセットとの互換性やクイックディスコネクトローラーアセンブリを備え、メンテナンスやロット整合性チェック、エッジ検査といった日常運用を容易にして早期欠陥発見と遅延防止に寄与します。ISO9001認証施設で製造されCE認証を取得しているため、国際的な品質・安全基準に準拠したクリーンルーム向けの精密ウェハハンドリング機器として適しています。 l 接地されたウェハとカセットパスを備えた帯電防止構造 l メンテナンスとクリーニングが簡単なクイック ディスコネクトローラー l アライメント、ロットの整合性、エッジ検査タスクをサポート l 76mm～150 mm ウェーハの手動ウェハ アライメント用に設計 Manual wafer flat aligner (WHS-A2) 76 mm (3”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A2-301 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：76 mm (3”) System：Manual system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E) Manual wafer flat aligner (WHS-A2) 100 mm (4”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A2-401 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：100 mm (4”) System：Manual system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E) Manual wafer flat aligner (WHS-A2) 150 mm (6”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A2-601 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：150 mm (6”) System：Manual system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E) Manual wafer flat aligner (WHS-A2) multisize 76,100,125,150 mm Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A2-701 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：Multisize 76,100,125,150 mm System：Manual system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E) WHS-A2 Manual Flat Aligner datasheet 【備考】※ご注文の際はカセットのモデル番号を指定してください。 ※写真は代表的なインチサイズの商品を載せていますので実物と異なる場合があります。 ※常備在庫品ではありません。納期は別途お問い合わせください。
