✦ Verified product
オートマチックノッチアライナー Automatic notch aligner
JPY 0.00
サイズ
協同インターナショナル
Verified independent store
→
自動（オート操作）でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。150mm（6インチ）、200mm（8インチ）用ウェハに対応した商品ラインアップ。 l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l 複数のアライメントプログラム: 標準、薄
型/複合ウェハ、エッジ検査 l ±1°ノッチアライメント精度 l ESD 対応ポリウレタンローラーと精密ノッチキャッチコームアセンブリー ★詳細の商品説明は本ページの最下段に記載しています。 Automatic notch aligner (WHS-A3) 150 mm (6”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A3-601 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：150 mm (6”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Automatic notch aligner (WHS-A3) 200 mm (8”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A3-801 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：200 mm (8”) System：Automatic system Slots：Up to 26 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) WHS-A3 Automatic Notch Aligner datasheet 【備考】※ご注文の際はカセットのモデル番号を指定してください。 ※写真は代表的なインチサイズの商品を載せていますので実物と異なる場合があります。 ※常備在庫品ではありません。納期は別途お問い合わせください。 【商品説明】 WHS-A3シリーズは、150 mm (6 インチ)または200 mm(8インチ)ノッチウェハの正確な±1°バルクアライメント用に設計された最先端の自動ウェハノッチアライナーです。この高度なシステムは、精密ノッチ キャッチ コームアセンブリとESD対応ポリウレタンローラーを組み合わせ、SiC、GaN、GaAsなどの敏感な半導体材料を確実かつ安全に処理します。リソグラフィー、成膜、エッチングなどの重要なプロセスに最適です。 パスワードで保護されたタッチスクリーンインターフェイスにより、オペレーターは標準モード、薄型/複合ウェハアライメント、エッジ検査モードなど、複数のアライメント プログラムにアクセスできます。WHS-A3は、最高の精度を維持しながら、さまざまなウェハ処理要件に適応できる優れた柔軟性を提供します。 静電気拡散材料で構築されているため、ウェハとカセットの両方を接地することで強力なESD保護を提供し、処理中の静電放電を防ぎます。このシステムは、ISO3 (クラス1FS209E)クリーンルーム環境で動作するように設計されており、汚染制御の最高基準を満たしています。 ロットの完全性チェックやエッジ検査などの重要なタスクもサポートしているため、オペレーターはプロセスの早い段階でウェハの欠陥を特定して対処できます。メンテナンスのしやすさを考慮して設計されており、素早く簡単にクリーニングできるクイックディスコネクトローラーアセンブリを備えています。 ISO9001およびCE認定施設で製造。厳格な国際基準を満たしており、要求の厳しい半導体製造環境での高精度ウェハアライメントに最適なソリューションです。
