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オートマチックフラットアライナー Automatic flat aligner
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協同インターナショナル
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自動（オート操作）でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。オリフラウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。76mm（3インチ）、100mm（4インチ）、150mm（6インチ）、200mm（8インチ）用ウェハに対応した商品ラインアップ。 l 接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構
造 l クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー l ±1以内の正確なプライマリフラットアライメント l アライメント、ロットの整合性、エッジ検査タスクをサポート ★詳細の商品説明は本ページの最下段に記載しています。 Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) 76 mm (3”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A1-301 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：076 mm (3”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) 100 mm (4”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A1-401 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：100 mm (4”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) 150 mm (6”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A1-601 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：150 mm (6”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) 200 mm (8”) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A1-801 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：200 mm (8”) System：Automatic system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) multisize 76,100,125,150 mm Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-A1-701 Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering *** Material：Antistatic Polyoxymethylene Wafer size：Multisize 76,100,125,150 mm System：Automatic system Slots：Up to 25 Material roller：Antistatic EPDM Aligning accuracy：Better than +/- 1° Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E) WHS-A1 Automatic Flat Aligner datasheet 【備考】※ご注文の際はカセットのモデル番号を指定してください。 ※写真は代表的なインチサイズの商品を載せていますので実物と異なる場合があります。 ※常備在庫品ではありません。納期は別途お問い合わせください。 【商品説明】 WHS-A1シリーズは、76、100、125、150 mmのウェハ全体にわたって正確なウェハアライメントを実現するように設計された最先端の自動フラットアライナーで、精度は±1°以内です。最先端のテクノロジーとESD対策素材で構築されたWHS-A1は、InP、GaAs、GaN、SiCなどの高度な素材の取り扱いに最適で、今日の複合半導体業界に最適なソリューションです。このシステムには、ウェハを穏やかに持ち上げ、ウェハのエッジを保護し、生産歩留まりを最大化する電動ステージが搭載されています。 統合されたタッチスクリーンインターフェイスにより、ユーザーは標準アライメント、薄型/複合ウェハアライメント、エッジ検査モードなど、複数のプログラムにアクセスできます。クリーンルーム環境向けに設計されたWHS-A1は、ISO3(クラス1 FS209E)条件で動作し、最も厳格な清浄度および汚染管理基準に準拠しています。 クイックディスコネクトローラーアセンブリにより、アライナーのメンテナンスが容易になり、ダウンタイムが最小限に抑えられます。また、SEMI準拠のウェハカセットとの互換性により、既存のプロセスへのシームレスな統合が実現します。 ロットの完全性、結晶配向、ウェハエッジ検査のいずれに使用する場合でも、WHS-A1は運用効率と製品品質を向上させるように設計されています。ISO9001およびCE認定施設で製造されたWHS-A1は、安全性、パフォーマンス、信頼性に関する最高の世界基準に準拠しています。
